該設(shè)備可實(shí)現(xiàn)光學(xué)、電學(xué)、高低溫溫度控制的多場耦合測試；配有定制轉(zhuǎn)接板，可與現(xiàn)場光學(xué)系統(tǒng)穩(wěn)定連接，有效抑制真空振動(dòng)對微區(qū)觀測的干擾。此外，9 mm的物鏡工作距離支持50倍放大下的光學(xué)觀測。

為了拓展設(shè)備使用，電學(xué)測試可分為兩個(gè)場景：

（1）樣品與微型電極集成于PCB板上，可直接接入測試；
（2）去掉PCB板后，設(shè)備可作為常規(guī)光學(xué)冷熱臺(tái)使用。

設(shè)備配有電學(xué)接口，可外接半導(dǎo)體參數(shù)分析儀，實(shí)現(xiàn)低至非安級(jí)的漏電流測試。針對高倍物鏡觀測需求，設(shè)備還集成獨(dú)立氣路系統(tǒng)，既支持真空測試，也可在預(yù)抽真空后通入惰性氣體進(jìn)行溫控實(shí)驗(yàn)，進(jìn)一步減小振動(dòng)對高分辨觀測的影響。

設(shè)備適配現(xiàn)場

產(chǎn)品主要技術(shù)規(guī)格:

1、冷熱方式：液氮致冷，電阻加熱

2、溫度范圍：-190℃-600℃，真空下-190℃-400℃

3、溫度穩(wěn)定性：-190℃~120℃，±0.3℃；120℃~600℃，±0.1℃

4、控溫速率：最大升溫速率:150℃/min，最大降溫速率：40℃/min

5、載樣臺(tái)：銀質(zhì)；23mm*23mm

6、光路：反射

7、上視窗尺寸：φ25mm*1mm

8、視窗材質(zhì)：JGS2石英玻璃（透射波段范圍220nm~2500nm)，可手動(dòng)拆卸更換)

9、視窗上表面到載樣臺(tái)上表面距離：9mm

10、視窗除霜：低溫下吹氣除霜

11、電學(xué)接口：BNC*6

12、樣品臺(tái)面電位：接地/電懸空

13、腔室：真空

14、電學(xué)實(shí)現(xiàn)：PCB板