該外部調(diào)節(jié)探針臺通過外置探針模組的微分頭結(jié)構(gòu)進(jìn)行XYZ方向的位移來調(diào)節(jié)腔體內(nèi)的探針，進(jìn)行微米級的移動，移動模組設(shè)計在腔體外，不影響腔體內(nèi)環(huán)境。采用液氮致冷、電阻加熱的方式，實現(xiàn)-190~600℃范圍內(nèi)精準(zhǔn)控制，可與電學(xué)儀表（如源表、萬用表等）搭配集成，進(jìn)行變溫原位測試。

產(chǎn)品主要技術(shù)參數(shù)：

冷熱方式：液氮致冷，電阻加熱

溫控范圍：-190℃~600℃

溫度穩(wěn)定性：士0.5℃

最大升溫速率：100℃/min@100℃(可定點/程序段控溫)

最大降溫速率：100℃/min@-50℃（可定點/程序段控溫）

載樣臺尺寸：無氧銅；50mm*50mm

光路：反射光路

探針：可調(diào)節(jié)探針*12(針尖5μm，鈹銅)

探針接口：三同軸BNC

探針位移行程：XY軸：±25mm，Z軸：±10mm

探針位移分辨率：5μm

腔室：真空腔室

果果儀器定制外部調(diào)節(jié)探針臺應(yīng)用現(xiàn)場：